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微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)是融合机、光、电、磁等领域技术为一体,将常规集成电路工艺与微机械加工独有......
微机电系统(MEMS)具有集成度高、体积小、功耗低、性能稳定和价格低廉等特点,现正逐步替代传统的机械结构与电路组成的电子元器件......
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