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C-V曲线相关论文
SiC MOS的模拟、制备与表征
碳化硅是第三代半导体材料,具有禁带宽度大,饱和漂移速度高,耐高压和耐高温以及抗辐射的优点,因此基于SiC的功率器件可以实现较小的导......
学位
MOS
SiC
模拟
界面陷阱密度
氧化退火
能级位置
界面态密度
后氧化
C-V曲线
温度
器件
样品
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