Current-Bounded Commutation of a Long-Stroke Magnetically Levitated Stage with Moving Coils

• 作 者: ZHU Yu ZHANG Shengguo YANG Kai
• 机 构: DepartmentofPrecisionInstrumentsandMechanology
• 出 处: 中国机械工程学报
• 发表日期: 2012年6期
• 关键词: 电流矢量 线圈阵列 磁悬浮 移动 长冲程 运动性能 耦合关系 自由度 magnetic levitation current-bounded commutat
• 基金项目: This project is supported by National Basic Research Program of China（973 Program, Grant No. 2009CB724205）, National Hi-tech Research and Development Program of China（863 Program, Grant No. 2009AA04Z1

有磁力地升在空中的阶段(MLS ) 有潜力在高真空环境获得好运动表演。然而，相应于运动有与卷的每水流联合关系的自由(DOF ) 的六度的电磁的力量 / 转矩穿，并且这联合仍然与在 mover 和阶段的定子之间的相对位置被联系。控制阶段的 6-DOF 运动因此是相当困难的。由卷数组的合理交换，这种复杂联合关系能是 decoupled。阶段的分析 force/torque-decomposing 模型首先被建立。然后，卷数组的起始的水流基于分析 force/torque-decomposing 模型矩阵的假逆