【摘 要】
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在模拟计算以a-Si TFT为有源开关，以a-Si PIN为光敏源的有源成像器件工作特性与各单元元件关系的基础上，详细讨论了单元器件的材料、物理参数对a-Si TFT/PIN耦合对特性的影响，并
【机 构】
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南开大学光电子所国家教育部光学信息技术科学开放研究实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金! ( 6 95 770 11)&&
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在模拟计算以a-Si TFT为有源开关，以a-Si PIN为光敏源的有源成像器件工作特性与各单元元件关系的基础上，详细讨论了单元器件的材料、物理参数对a-Si TFT/PIN耦合对特性的影响，并给出一定试验结果。用LED光源照射a-Si PIN的光电转换率可达18．1nA/1x,a-Si TFT/PIN有较好的线性度。
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