【摘 要】
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据《SemiconductorWorld》报道，日本冲电气工业公司在线宽0．lpm级的LSI中，采用新材料开发布线技术。把铜—锆合金用作布线材料，能实现140年以上的长寿命。随着LSI的高速化、高集
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据《SemiconductorWorld》报道，日本冲电气工业公司在线宽0．lpm级的LSI中，采用新材料开发布线技术。把铜—锆合金用作布线材料，能实现140年以上的长寿命。随着LSI的高速化、高集成化，布线也要达到微细化和高密度化。在确保可靠性的基础上，市线的耐久性变得非常重要。存在
According to “SemiconductorWorld” reported that Japan’s Oki Electric Industry Corporation online wide 0. lpm LSI, the development of wiring materials using new materials technology. The use of copper-zirconium alloy as a wiring material, can achieve more than 140 years of long life. With the high-speed LSI, high integration, wiring must also be miniaturized and high density. On the basis of ensuring the reliability, the durability of the city line becomes very important. exist
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