【摘 要】
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近年来,以金属型模腔为代表的形状复杂并且尺寸精度要求高的工件逐渐多了起来。为了实现高效率、高精度测量,不仅三坐标测量机的性能是重要的,传感器的性能也是重要的。过去
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近年来,以金属型模腔为代表的形状复杂并且尺寸精度要求高的工件逐渐多了起来。为了实现高效率、高精度测量,不仅三坐标测量机的性能是重要的,传感器的性能也是重要的。过去,已有许多三坐标测量传感器研制出来,大致上可分为定位传感器和位移传感器。这些不仅用在三坐标测量机的测量头上,而且
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