一种新型的低导通电阻折叠硅SOI LDMOS

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lys520168
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
提出了一种具有折叠硅表面SOI—LDMOS(FSOI—LDMOS)新结构.它是将硅表面从沟道到漏端的导电层刻蚀成相互排列的折叠状,且将栅电极在较薄的场氧化层上一直扩展到漏端.由于扩展栅电极的电场调制作用使FSOI-LDMOS在比一般SOI-LDMOS浓度高的漂移区表面,包括折叠硅槽侧面形成多数载流子积累,积累的多数载流子大大降低了漂移区的导通电阻.并且沟道反型层浓度基于折叠的硅表面而双倍增加,沟道导通电阻降低.通过三维仿真软件ISE分析,这种结构可以在低于40V左右的击穿电压下,获得超低的比导通电阻.
其他文献
随着社会的飞速发展,人们的生活节奏正在日益加快,竞争越来越强烈,人际关系也变得越来越复杂;由于科学技术的飞速进步,知识爆炸性地增加,迫使人们不断地进行知识更新;“人类进入了情
开展国际教育,推动来华留学生培养是服务国家扩大对外开放战略的关键内容。习近平主席在2013年发出了“一带一路”发展倡议,为我国高等院校国际教育指明了新方向。对于一所工科
使用管式加热炉成功地制备出In2O3纳米线.通过扫描电子显微镜可以看到样品为In2O3纳米线;X射线衍射分析证实该材料是立方结构的In2O3;X射线光电子谱分析发现该In2O3中存在大量氧
从经验公式出发,基于T-T湮灭过程,建立了有机磷光电致发光器件中复合宽度和外量子效率的理论模型。结果表明:(1)随外加电压升高,器件的复合宽度减小,外量子效率增加;(2)随器件厚度的增
为探讨环磷腺苷葡甲胺(MCA)注射液治疗维持性血液透析患者合并左心功能不全的疗效,笔者于2001年10月~2004年11月采用MCA注射液对18例维持性血液透析合并左心功能不全患者进行治
采用HFCVD制备金刚石薄膜的方法,以乙醇为碳源,氢气为载气,在适当的衬底温度下,合成出具有(100)晶面取向均匀生长的金刚石薄膜.SEM,XRD和Raman分析表明,所合成的金刚石薄膜是高质量
利用直流反应磁控溅射技术制得N—Al共掺的P型ZnO薄膜,N2O为生长气氛.利用X射线衍射(XRD),Hall实验,X射线光电子能谱(XPS)和光学透射谱对共掺ZnO薄膜的性能进行研究.结果表明,薄膜
分析了梳齿电容式传感器梳齿极板间的不平行在三种电容驱动下,对传感器的可靠工作范围的影响.结果表明梳齿电容在同样的电压驱动下,当电容极板间的倾斜角由0.1°变到0.5°
基于RLC互连树节点导纳的低阶矩构建了一种稳定的互连π模型,并讨论了它在互连树延时和逻辑门延时估计中的应用.结果表明,该模型与已有方法相比精度有一定程度的提高.
利用退火热氧化射频磁控溅射金属锌膜的方法在Si(111)衬底上制备了一维ZnO纳米棒,同时用多种测试手段对样品的晶体结构、表面形貌和光学性能进行了研究.XRD,SEM和TEM的测试结果