热氧化磁控溅射金属锌膜合成一维ZnO纳米棒

• 作 者: 石礼伟 李玉国 王强 薛成山 王书运
• 机 构: 山东师范大学物理与电子科学学院半导体研究所
• 出 处: 半导体学报
• 发表日期: 2004年10期
• 关键词: 磁控溅射 热氧化 氧化锌 纳米棒 特性 magnetron sputtering thermal oxidation ZnO nan orods propert
• 基金项目: 国家自然科学基金重大研究计划资助项目 (批准号 :90 2 0 10 2 5 ,90 3 0 10 0 2)~~

利用退火热氧化射频磁控溅射金属锌膜的方法在Si(111)衬底上制备了一维ZnO纳米棒，同时用多种测试手段对样品的晶体结构、表面形貌和光学性能进行了研究．XRD，SEM和TEM的测试结果表明，ZnO纳米棒为单晶相六方纤锌矿结构，呈头簪状向外发散生长，直径在30～60nm左右，其长度可达几μm．PL谱测试结果表明：在波长为280nm光的激发下，在372nm处有强的近带边紫外光发射和516nm处的较微弱深能级绿光发射．说明合成的一维ZnO纳米棒的结晶质量和光学性能优良．