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采用新工艺，新技术对激光，氧化物晶体生长的提拉装置进行全新设计，并对其精度进行了综合分析。该提位装置精度高，稳定性好，适合生长直径晶体，满足大规模工业化生产的需求。
大型激光晶体生长炉提拉装置的设计
【摘 要】
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采用新工艺，新技术对激光，氧化物晶体生长的提拉装置进行全新设计，并对其精度进行了综合分析。该提位装置精度高，稳定性好，适合生长直径晶体，满足大规模工业化生产的需求。
【机 构】
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西安理工大学晶体生长设备研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1999年3期
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