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本文扼要介绍了电子束直接光刻设备国外概况与国内现状，指出了国内在这一领域的主要差距，并为我国发展该设备提出了建议。
电子束直接光刻设备概况及发展对策
【摘 要】
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本文扼要介绍了电子束直接光刻设备国外概况与国内现状，指出了国内在这一领域的主要差距，并为我国发展该设备提出了建议。
【机 构】
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电子工业部第四十八研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1994年2期
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