【摘 要】
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用反射率方法测定了软X射线波段(60～900eV)超薄膜的光学常数.反射率测量在同步辐射光束线上完成.对测量数据做非线性最小二乘曲线拟合得出光学常数,同时还精密确定了超薄膜的
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所,中国科学院长春光学精密机械研究所,日本东北大学科学计测研究所,日本东北大学科学计测研究所,日本东北大学科学计测研究所
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用反射率方法测定了软X射线波段(60～900eV)超薄膜的光学常数.反射率测量在同步辐射光束线上完成.对测量数据做非线性最小二乘曲线拟合得出光学常数,同时还精密确定了超薄膜的膜厚与薄膜与基板表面粗度的均方根值.文中介绍了样品制备、反射率测量、数据解析及误差分析的方法,并给出了C、Au、Pt超薄膜的相应结果.
The optical constants of ultra-thin films in soft X-ray waveband (60 ~ 900eV) were measured by reflectance method.The reflectance measurements were performed on synchrotron beamline.The optical constants were obtained by nonlinear least squares curve fitting of the measured data, The rms value of the ultrathin film thickness and the surface roughness of the film and the substrate is also precisely determined.The methods of sample preparation, reflectivity measurement, data analysis and error analysis are introduced in this paper.C, Au, Pt The corresponding result of the film.
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