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研制了一种新的振膜真空计。量程覆盖１０＾－３Ｐａ－１ａｔｍ。该计采取用通电线圈的电磁力驱动振膜，振膜再带动另一个线圈，使其切割磁力线，从而感应出一个与压强有关的信号电压。振膜的振幅受气体分子的阻尼，压强越高，阻尼越强，振幅变小，感应信号也就越小。这种新型振膜规，比现今的静电力驱动振膜规工艺简单，参数一致性好，利于生产和降低成本。电磁力驱动振膜规可采用单膜，也可采有双膜结构，双膜规消除了现今振膜规在