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本文介绍一种高性能２．０ｕｍＢｉＣＭＯＳ工艺。该工艺采用Ｐ型衬底Ｎ型Ｐ型双埋层，Ｎ型薄外延结构，掺杂多晶作为ＣＭＯＳ晶体管栅杉双极晶体管的发射极。ＣＭＯＳ晶体管源漏自对准结构，钛和铝双层金属作为元件互连和ＰＥＣＶＤ ＳｉＮｘ介质作为钝化薄膜。
一种高性能2.0umBiCMOS工艺
【摘 要】
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本文介绍一种高性能２．０ｕｍＢｉＣＭＯＳ工艺。该工艺采用Ｐ型衬底Ｎ型Ｐ型双埋层，Ｎ型薄外延结构，掺杂多晶作为ＣＭＯＳ晶体管栅杉双极晶体管的发射极。ＣＭＯＳ晶体管源漏自对准结构，钛和铝双层金属作为元件互连和ＰＥＣＶＤ ＳｉＮｘ介质作
【机 构】
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电子工业部第二十四所
【出 处】
：
电子器件
【发表日期】
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1997年1期
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