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从功率VUMOSFET器件结构出发,通过使用模拟软件SILVACO进行工艺和器件仿真,根据仿真结果分析了器件沟道掺杂浓度分布对阈值电压的影响,进而提出工艺改进的措施.对功率VUMOSFET的设计与生产具有指导意义.
功率VUMOSFET器件阈值电压最佳化设计
【摘 要】
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从功率VUMOSFET器件结构出发,通过使用模拟软件SILVACO进行工艺和器件仿真,根据仿真结果分析了器件沟道掺杂浓度分布对阈值电压的影响,进而提出工艺改进的措施.对功率VUMOSFE
【机 构】
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辽宁大学物理学院
【出 处】
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微电子学与计算机
【发表日期】
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2010年6期
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