【摘 要】
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松下电子工业公司,使用以前的步进式曝光装置和光保护层(感光树脂),研制出在硅片上刻划0.6微米线宽电子线路的光刻技术。从而不必等待昂贵的新型步进装置以及工序复杂的新型
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松下电子工业公司,使用以前的步进式曝光装置和光保护层(感光树脂),研制出在硅片上刻划0.6微米线宽电子线路的光刻技术。从而不必等待昂贵的新型步进装置以及工序复杂的新型保护层技术的开发
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