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压电陶瓷已在各种精密仪器控制中广泛应用.但是由于压电陶瓷的非线性使控制复杂,而且控制精度受到影响.该文作者在扫描隧道显微镜探针高度调节中,将模糊控制用于压电陶瓷的控制,取得了较通常采用的控制方法更为理想的效果.
模糊控制在压电陶瓷控制中的应用
【摘 要】
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压电陶瓷已在各种精密仪器控制中广泛应用.但是由于压电陶瓷的非线性使控制复杂,而且控制精度受到影响.该文作者在扫描隧道显微镜探针高度调节中,将模糊控制用于压电陶瓷的控
【机 构】
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天津大学精密仪器与光电子工程学院
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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1999年3期
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