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利用激光干涉仪、光电瞄准系统、二级复合定位系统相结合,研制了非接触步距规校准装置,实现了高精度非接触步距规。本文介绍了该仪器的构成、原理、特点,并进行了装置的不确定度分析,经分析1 m步距规的测量不确定度可以达到0.5μm(k=2)。
非接触步距规校准装置的研制
【摘 要】
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利用激光干涉仪、光电瞄准系统、二级复合定位系统相结合,研制了非接触步距规校准装置,实现了高精度非接触步距规。本文介绍了该仪器的构成、原理、特点,并进行了装置的不确
【机 构】
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航空工业北京长城计量测试技术研究所
【出 处】
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计测技术
【发表日期】
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2017年S1期
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