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评述砷化镓中硅ＳＩＭＳ定量分析的进展，讨论了相对灵敏度因子法。几种ＧａＡｓ的原始参考物质，用实验确认了其可靠性，为常规定量分析研制了二次参考物质，对一些关键实验因素，如样品装载，仪器参数以及离子选择先进进行了仔细研究，并评价它们对定量重复性、精确性、检测限和基体疚的影响。Ｃａ＾＋源入射时ＧａＡｓ中Ｓｉ定量分析精度在１５５％内，检测ＡｓＳｉ干二次离子时，＾２９Ｓｉ检测限达５×１０＾１４ａｔｏｍｓ／ｃ