电子束,离子束与蓝宝石相互作用的研究

• 作 者: 崔玉德 王佑祥
• 机 构: 中国科学院表面物理实验室,中国科学院半导体研究所
• 出 处: 真空科学与技术
• 发表日期: 1995年3期
• 关键词: 电子束 离子束 蓝宝石 分解 俄歇电子能谱 Electron beam Ion beam Sapphire Decomposition Auger el
• 基金项目: 国家自然科学基金!69391203

研究了电子束、离子束作用于Ａｌ２Ｏ３表面时成分的变化，表明无论电子速 呈离子束都能使Ａｌ２Ｏ３发生分解，产生导电的元素Ａｌ。实验在ＰＨＩ６１０·ＳＡＭ上进行，电子束轰击下（３ｋｅＶ，０．５，μＡ入射角６０°）１０ｓ就有元素Ａｌ分解，但当Ｅｉ＞３ｋｅＶ时，由于剥离速率加大，溅射５ｍｉｎ时表面Ａｌ以而比１ｍｉｎ时要弱。这时表面Ａｌ今处于分解析出与溅射剥离的动态平衡时，实验还发现了Ａｌ２Ｏ３的解析与表面