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提出了一种关于多弧离子镀合金涂层成分离析效应的物理模型。利用该模型，从理论上较为圆满地解释了成分离析的影响因素及其作用机制。
多弧离子镀合金涂层成分离析效应的物理机制研究
【摘 要】
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提出了一种关于多弧离子镀合金涂层成分离析效应的物理模型。利用该模型，从理论上较为圆满地解释了成分离析的影响因素及其作用机制。
【机 构】
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沈阳工业高等专科学校
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1996年3期
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