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一种微型隧道效应磁强计的设计
一种微型隧道效应磁强计的设计
来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wtwl66
【摘 要】
:
隧道效应传感器是一种灵敏度很高的位移传感器,其原理已经被用于微加速度计和红外传感器的设计.文中介绍了基于这一原理的微型磁强计,对传感器的固有频率和驱动电压进行了分
【作 者】
:
朱俊华
丁衡高
叶雄英
【机 构】
:
清华大学精密仪器系北京市 100084
【出 处】
:
仪表技术与传感器
【发表日期】
:
2000年8期
【关键词】
:
MEMS
隧道效应
磁强计
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隧道效应传感器是一种灵敏度很高的位移传感器,其原理已经被用于微加速度计和红外传感器的设计.文中介绍了基于这一原理的微型磁强计,对传感器的固有频率和驱动电压进行了分析和计算.
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