【摘 要】
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一、引言全息干涉计量技术是精密测量机械零部件三维微变形的新方法。对具有漫反射表面的物体,这种光学干涉法能够非接触地测量它在热负荷或机械负荷下整体形状的变化。测量
【机 构】
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沈阳仪器仪表研究所二室全息照相组,
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一、引言全息干涉计量技术是精密测量机械零部件三维微变形的新方法。对具有漫反射表面的物体,这种光学干涉法能够非接触地测量它在热负荷或机械负荷下整体形状的变化。测量精度为光波波长的数量级。
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