【摘 要】
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为促进海峡两岸在平坦化技术方面的交流与合作,由中国机械工程学会摩擦学分会微纳制造摩擦学专业委员会主办、河北工业大学承办的2013年海峡两岸平坦化技术研讨会于2013年5月1
【机 构】
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摩擦学分会微纳制造摩擦学专业委员会
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为促进海峡两岸在平坦化技术方面的交流与合作,由中国机械工程学会摩擦学分会微纳制造摩擦学专业委员会主办、河北工业大学承办的2013年海峡两岸平坦化技术研讨会于2013年5月16一培日在天津举行。来自海峡两岸的化学机械平坦化以及其他微纳制造相关领域的近80位专家学者参加了此次研讨会。清华大学摩擦学国家重点实验室主任、摩擦学分会常务理事雒建斌院士,中科院上海微系统与信息技术研究所所长王曦院士,河北工业大学校长展永,华侨大学副校长徐西鹏教授,微纳制造摩擦学专业委员会主任委员、ICPT(平坦化技术国际会议)执委、清
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