【摘 要】
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该仪器是一种在线(或离线)监测(或测量)精密加工表面粗糙度的装置,特别适于镜面加工条件,能对各种工程材料如金属、半导体材料、工业陶瓷和石材等加工表面微观几何
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该仪器是一种在线(或离线)监测(或测量)精密加工表面粗糙度的装置,特别适于镜面加工条件,能对各种工程材料如金属、半导体材料、工业陶瓷和石材等加工表面微观几何
The instrument is an on-line (or off-line) monitoring (or measuring) precision machining surface roughness device, especially for mirror processing conditions, for a variety of engineering materials such as metals, semiconductor materials, industrial ceramics and stone processing surface microscopic geometry
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