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【摘 要】
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利用低压金属有机物气相沉积 (L P- MOCVD)技术 ,采用两步生长法 ,在 (0 0 0 1 )蓝宝石衬底上获得了纤锌矿结构的 Zn1 - x Mgx O合金单晶薄膜 .实验发现随着 Mg原子的增多 ,Z
【机 构】
：
南京大学物理系,南京大学物理系,南京大学物理系,南京大学物理系,南京大学物理系,南京大学物理系,南京大学物理系,南京大学物理系,南京大学物理系,南京大学物理系,南京大学物理系 南京210093,南京2
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2004年07期
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