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讨论了采用波长为308nm，脉冲宽度为28ns的准分子激光清洗基片的实验研究，分析了激光清洗过程中清洗阈值和损伤阈值存在的原因，并对它们进行了定量性推导。
激光清洗阈值和损伤阈值的研究
【摘 要】
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讨论了采用波长为308nm，脉冲宽度为28ns的准分子激光清洗基片的实验研究，分析了激光清洗过程中清洗阈值和损伤阈值存在的原因，并对它们进行了定量性推导。
【机 构】
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华中理工大学激光技术国家重点实验室
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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1997年07期
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