【摘 要】
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本文介绍了在电子束曝光机中使用的十五位电流型数/模转换器的一些主要结构及特点,详述了各位权电流的调整方法。现场测试结果表明:它具有高分辨率、高精度、高速度、低漂移
【机 构】
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哈尔滨工业大学电子束研究室,哈尔滨工业大学电子束研究室
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本文介绍了在电子束曝光机中使用的十五位电流型数/模转换器的一些主要结构及特点,详述了各位权电流的调整方法。现场测试结果表明:它具有高分辨率、高精度、高速度、低漂移和良好的稳定性。
This paper describes some of the main structures and features of the 15-bit current-mode digital-to-analog converter used in electron beam lithography, and details how to adjust the bit-current. Field test results show that: It has high resolution, high precision, high speed, low drift and good stability.
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