【摘 要】
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本文着重研究了金属化系统的失效模式和失效机理。通过实验与分析,发现在铝中注入磷并覆盖聚酰亚胺可使铝膜寿命提高66倍。在金多层金属化系统的失效分析中发现钨与钼具有更
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本文着重研究了金属化系统的失效模式和失效机理。通过实验与分析,发现在铝中注入磷并覆盖聚酰亚胺可使铝膜寿命提高66倍。在金多层金属化系统的失效分析中发现钨与钼具有更高的抗电穿透能力。在失效分析中使用了新的较为适用的寿命公式来计算激活能 Q,以修正早期给出的带有一定局限性的寿命公式。
This article focuses on the failure modes and failure mechanisms of metallization systems. Through experiment and analysis, it is found that the life of aluminum film can be increased 66 times by injecting phosphorus into aluminum and covering the polyimide. Tungsten and molybdenum have been found to have higher resistance to electroporation in the failure analysis of multi-layer metallization systems. In the failure analysis, a new and more applicable life formula is used to calculate the activation energy Q, in order to correct the earlier life formula with some limitations.
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