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Fabrication and characterization of He-charged ODS-FeCrNi films deposited by a radio-frequency plasm
Fabrication and characterization of He-charged ODS-FeCrNi films deposited by a radio-frequency plasm
来源 :黑龙江科技信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cai372751072
【摘 要】
:
本文通过对荣华二采区10
【作 者】
:
Liang SONG
Xianping WANG
Le WANG
Yina ZHANG
Wang LIU
Weibing JIANG
Tao ZHANG
Qianfeng FANG
Changsong LIU
【机 构】
:
Key Laboratory of Materials Physics, Institute of Solid State Physics, Chinese Academy of Sciences,
【出 处】
:
黑龙江科技信息
【发表日期】
:
2017年4期
【关键词】
:
radio-frequency plasma magnetron sputtering
He-charged FeCrNi-based film
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本文通过对荣华二采区10<
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