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大连圣迈化学有限公司主要致力于高纯氮、氢、氩、氧、氩、氦、乙烯、丙烯等气体公司的气体终端纯化；电子材料气，MOCVD，半导体和LCD等气体纯化系统；高纯气体供应设施的安装和建造；超纯气体纯化装置；变压吸附装置。
大连圣迈7N系列超纯气体纯体装置
【摘 要】
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大连圣迈化学有限公司主要致力于高纯氮、氢、氩、氧、氩、氦、乙烯、丙烯等气体公司的气体终端纯化；电子材料气，MOCVD，半导体和LCD等气体纯化系统；高纯气体供应设施的安装和建造
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2011年3期
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