【摘 要】
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本文介绍了TP86A单板机在可变矩形电子束曝光机工件台系统中的应用。其中包括接口部份的硬件以及对工件台运动的控制,调试和定位精度检测用的软件包设计。
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本文介绍了TP86A单板机在可变矩形电子束曝光机工件台系统中的应用。其中包括接口部份的硬件以及对工件台运动的控制,调试和定位精度检测用的软件包设计。
This paper introduces the application of TP86A single-board machine in the variable rectangular electron beam exposure machine table system. Including the interface part of the hardware and workpiece table movement control, debugging and positioning accuracy of the software package design.
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