【摘 要】
：
本文主要研究功率器件中多晶硅栅的干法刻蚀工艺。首先阐述了多晶硅在金属–氧化物–半导体场效应晶体管(MOSFET)中的重要作用,提出当前多晶硅常采用干法刻蚀工艺实现其微观
【机 构】
：
国家电网,先进输电技术国家重点实验室
论文部分内容阅读
本文主要研究功率器件中多晶硅栅的干法刻蚀工艺。首先阐述了多晶硅在金属–氧化物–半导体场效应晶体管(MOSFET)中的重要作用,提出当前多晶硅常采用干法刻蚀工艺实现其微观形貌,同时介绍了干法刻蚀的基本原理。然后重点研究了掺杂对多晶硅刻蚀后形貌的影响,通过对表面异常的表征与分析,探究优化的工艺路线,提出掺杂后的多晶硅必须经过表面湿法处理才可以进入光刻、刻蚀工步。最后将以上优化后的多晶硅刻蚀方案应用于一款6500 V/20 A SiC MOSFET的工艺流程,实测电学性能表现优异。
其他文献
海关数据显示，1～4月，我国纺织品服装出口537．9亿美元，同比增长15．5％，增速继续加快，较1—3月（15．2％）提高0．3个百分点。其中，纺织纱线、织物及制品出口216．0亿元，增长26．1％；服装及衣着附件出口321．9
数学教育主张数学学习要真正、全面、深刻地还原到学科现实、数学现实以及生活现实中进行具身学习。在解决真实的问题中学习数学,是学习真实的数学,是真实地学习数学。数学是
【关键词】 语文教学；兴趣；策略 【中图分类号】 G633.3 【文献标识码】 A 【文章编号】 1004—0463（2015）13—0061—01 一、营造和谐的课堂氛围 真诚地爱自己的学生，尊重他们的人格，少一点审视责备的目光，多一些欣赏鼓励的热情，保护他们的自尊心不受伤害。努力营造民主、平等，和谐、融洽的课堂氛围。想方设法为学生获得发展创造条件，使学生的个性得以张扬，最终形成教师乐教
有这样一道口算题:3+2.8,很多学生把答案写成了3.1,原因是把3看作0.3与2.8相加。我在思考:为什么学生会把3看作0.3呢?难道仅仅是因为不认真,没看清楚?我看未必。学生在前面已
【关键词】 数学教学;关系;教育;教学;新课改;传统教学法; 教师素养 【中图分类号】 G633.6 【文献标识码】 A 【文章编号】 1004—0463（2015）19—0046—01 数学教学是中小学教学工作的主要任务之一。笔者认为，加强数学课堂教学，提高数学教学的质量，教师就要正确处理好教学中的几个关系。下面，笔者就此谈些看法和体会。 一、教育与教学的关系 在课堂教
【关键词】 伟人班;班级管理;文化;思想 【中图分类号】 G635 【文献标识码】 C 【文章编号】 1004—0463（2015） 22—0033—01 列宁说过：“榜样的力量是无穷的”。但在社会和平发展、人民生活富裕的今天，榜样的作用逐渐弱化。虽然现实生活中仍不乏榜样的光辉形象，但在那些榜样备受推崇的同时，也拉大了普通人与榜样之间的距离。怎样使榜样的力量有效地发挥作用
好课应该是灵动的、有内涵的。好课不一定完美,好课自然而然,让学生动脑也动情,让学生回味并期待。我们不妨从以下四个方面改进课堂教学。以交流、分享丰富课堂教学。在课堂
简介了SF型牵伸系统的特点,阐述了SF型牵伸系统在FAS02型细纱机的实际使用效果,使用后条干均匀度和常发性纱疵均有改善,在配棉等级稍有下降、粗纱定量适当提高情况下仍能稳定
中国北方草原区捕捉器样品与表土样品中的花粉组合对比研究表明，两种取样方法获得的花粉组合相似性较好，乔木花粉含量多低于10％，灌木花粉含量多低于5％，草本花粉含量多高于75％；共有的
2009年2月21日在中国石油大学（北京）召开了《古地理学报》创刊十周年庆贺会。出席会议的有主办单位及协办单位的领导，古地理学报编辑委员会的委员和中国矿物岩石地球化学学会岩