钌系厚膜片式电阻器热处理工艺的研究

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研究了热处理工艺对钌系厚膜电阻器的温度系数(TCR)和短时间过负载性能的影响,发现适当的热处理工艺可以改善厚膜电阻器的电性能.为探讨热处理工艺对电阻膜层微观结构的影响,对热处理前后的电阻膜层进行了SEM形貌分析.
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