CMOS器件的隔离技术和抗闭锁性能

来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：quzg2008

【摘要】

：

当今LOCOS技术的局限性正迫使CMOS技术向开槽隔离和选择性外延发展。 The limitations of today’s LOCOS technology are forcing CMOS technology to trench isolation an

【作者】

：

Juliana Manoliu 周锡嘏

【出处】

：

微电子学

【发表日期】

：

1989年03期

【关键词】

：

隔离技术器件闭锁性外延发展微米选择性向开氧化物侧壁按比例缩小

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

当今LOCOS技术的局限性正迫使CMOS技术向开槽隔离和选择性外延发展。 The limitations of today’s LOCOS technology are forcing CMOS technology to trench isolation and selective epitaxial development.

其他文献

田园生活

时尚界今年盛行楔跟、粗跟田园鞋，令人想起童年时代热播的一部美国电视剧《草原小屋》。安娜苏新一季也是狂走复古田园风格，木头、草编者按鞋跟配以奢华钻饰，金属表皮都是今年鞋子浒的构成元素。以往在服装上出现的蕾丝、缎带、丝绸也跃然足上，将女人的柔媚展现得风韵十足。　　“本文中所涉及到的图表、注解、公式等内容请以PDF格式阅读原文”

期刊

中国真空学会第五届真空应用学术会议论文摘要(之一)

一、真空技术 V1 JLS—300型无油超高真空机组的研制胡昌官金葆荔白玉礼 (国营南光机器厂) 本机组采用JLS—300型复合离子泵与大通导能力的φ300mm口径的插板阀组成的新

期刊

中国真空学会会议论文摘要阴极真空回旋质谱计光电阴极吸气剂示波管二次电子钨粉

Synthesis and mesomorphism of diacetylene-bridged triphenylene discotic liquid crystal dimers

Connecting two discotic mesogens via a spacer not only stabilizes the columnar mesophase but also leads to the formation of glass columnar phase, and therefore

期刊

bridgedcolumnarcalorimetrylengthsymmetrychainsalkylcrystallinemonomerhe

工科基础化学实验教学改革刍议

基础化学实验教学对培养学生的实践能力、分析问题与解决问题能力以及创新能力等方面具有重要作用。本文针对传统的基础化学实验教学在教学体系、教学内容和实验考核方式方面

期刊

基础化学实验工科基础化学基础化学实验教学实验考核改革刍议化学实验课实验学科实验报告化学专业

冲击波进入抗道入口时流动过程的彩色纹影观测

用160×200~(mm)的方形激波管产生0.5kg/cm~2至4.3kg/cm~2的入射平面波,传入斜角为90°、60°、45°和26.5°四种地下拐折抗道重型。用单次闪光纹影照相、高速摄影机分幅纹

期刊

冲击波彩色入口入射冲击波斜角高速摄影机道后旋涡闪光冲击波压力

一个活跃在林区的农林机械修理组

在继续批邓、反击右倾翻案风的伟大斗争中,湖南省邵阳地区绥宁县林业局党委,想贫下中农之所想,急贫下中农之所急,今春从国 In continuing the great struggle of criticizi

期刊

机械修理绥宁县翻案风重点林区邵阳机动喷雾器手扶拖拉机割灌机爬山涉水技术资料

Synthesis and Crystal Structure of a Bipy Bridged Binuclear Cu~Ⅱ Complex Containing Aminomethanesulf

The title complex [Cu2(Sams)2(H2O)2(bipy)]·(H2O) 1 (H2Sams = N-(2-hydroxybenzy) aminomethanesulfonic acid, bipy = 4,4’-bipyridine) has been synthesized by the

期刊

bipyridineintermolecularsupramolecularcoordinatedmonoclinicbondsdistorted

发展油茶大有可为

随着农业学大寨运动的深入发展,在“以粮为綱,全面发展”的方针指引下,我国南方丘陵地带和山区油茶生产呈现出一派欣欣向荣的景象:昔日荒芜的老茶林,如今焕发了青春,枝繁叶

期刊

油茶农业学大寨运动茶油九六部门统计九七培育管理南方丘陵油茶树五十

0.5微米精细CMOS工艺

近年来,开发VLSI用CMOS工艺技术,显得极为重要。这主要是因为CMOS电路具有功耗低,噪声容限大和电路设计比较容易等优点。另一方面,从电路高速化的观点看,CMOS晶体管正在向微

期刊

微米微细化噪声容限栅长双极型试制工作驱动能力寄生电阻短沟效应沟道长度

反射式高速摄影对焊接熔池熔化现象研究及移动可调式氙灯试制

为清晰地拍摄焊接电弧、熔滴过渡,焊接熔池,我们试制了移动可调式氙灯,并采用了“反射法高速摄影”解决了焊接电弧,特别是有关熔池熔化现象的研究,取得了满意效果。“反射法

期刊

焊接熔池可调式焊接电弧熔滴过渡熔池反射式反射法拍鼓时法

CMOS器件的隔离技术和抗闭锁性能

其他学术论文