【摘 要】
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一、真空技术 V1 JLS—300型无油超高真空 机组的研制 胡昌官 金葆荔 白玉礼 (国营南光机器厂) 本机组采用JLS—300型复合离子泵与大通导能力的φ300mm口径的插板阀组成的新
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一、真空技术 V1 JLS—300型无油超高真空 机组的研制 胡昌官 金葆荔 白玉礼 (国营南光机器厂) 本机组采用JLS—300型复合离子泵与大通导能力的φ300mm口径的插板阀组成的新型无油超高真空机组。它的前级系统采用可烘烤至400℃ 的超高真空阀、离子阱、带放气的电磁阀、旋片真空
First, the vacuum technology V1 JLS-300-type oil-free ultra-high vacuum unit Hu Changguan Jin Bao Lai Bai Yu Li (State-owned Nanguang Machine Factory) The unit uses JLS-300-type composite ion pump and Chase guide capacity of φ300mm caliber plug valve New oil-free ultra-high vacuum unit. Its predecessor system uses ultra-high vacuum valves that can be baked to 400 ° C, ion traps, solenoid valves with deflation, rotary vane vacuum
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