【摘 要】
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功能生物模仿光学器件=Functional biomimetic opti-cal devices[英]/Naik R R,Brott L L…//Proc.SPIE.-2001,4590.-115～120 2002070440具有功能结构的三维微电机械系
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功能生物模仿光学器件=Functional biomimetic opti-cal devices[英]/Naik R R,Brott L L…//Proc.SPIE.-2001,4590.-115～120 2002070440具有功能结构的三维微电机械系统= Three-dimen-sional MEMS devices withfunctional architectures[英]/Vajtai R,Wei B Q… //Proc.SPIE.-2001,4590.-131～141
Functional Biomimetic opti-cal devices [English] / Naik RR, Brott LL ... // Proc.SPIE.-2001,4590.-115 ~ 120 2002070440 Three-dimensional micro-electromechanical system with functional structure = Three- dimen-sional MEMS devices with functional architectures [English] / Vajtai R, Wei BQ ... //Proc.SPIE.-2001,4590.-131~141
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