【摘 要】
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EBIC技术是研究半导体器件性能的一种有效方法,但由于样品更换麻烦等缺点使其应用受到限制。我们在用EBIC方法对太阳能电池的研究过程中,总结出一种可象普通样品一样的更换
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EBIC技术是研究半导体器件性能的一种有效方法,但由于样品更换麻烦等缺点使其应用受到限制。我们在用EBIC方法对太阳能电池的研究过程中,总结出一种可象普通样品一样的更换方法来得到EBIC像,它为用EBIC技术对大量样品进行观察提供了方便。本文也对低效、低体电阻太阳能电池的EBIC观察中存在的问题提出了解
EBIC technology is an effective way to study the performance of semiconductor devices, but its application is limited due to the shortcomings of sample replacement. In our study of solar cells using the EBIC method, we concluded that an EBIC image can be obtained in the same way as an ordinary sample, providing a convenient way to view a large number of samples using the EBIC technique. This paper also presents the solution to the problems in the EBIC observation of inefficient, low-body-resistance solar cells
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