【摘 要】
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英国国家物理实验室(NPL)E.W.Palmer1988年来华访问,其中曾就大面积光栅刻线机的设计和制造问题与航空部303所交流。1981年10月《PrecissionEngineer》(Vol,3.№.4)C.Evans
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英国国家物理实验室(NPL)E.W.Palmer1988年来华访问,其中曾就大面积光栅刻线机的设计和制造问题与航空部303所交流。1981年10月《PrecissionEngineer》(Vol,3.№.4)C.Evans 发表了关于这种刻线机的设计和制造方面的总结性文章。本文根据 C.E vans 的文章,结合 E.W.Palmer 的讲演,综述了刻线机的光学设计原理、总结电子-光学控制和测量方面的经验以及有关的机械设计等问题。
The British National Physical Laboratory (NPL) visited W.W.Palmer in 1988 and has interacted with the Ministry of Aeronautics 303 on the design and manufacture of large-area grating liners. October 1981 “PrecissionEngineer” (Vol. 3.№ 4) C. Evans published a concluding article on the design and manufacture of such reticle machines. Based on the C.Evans article and the lecture by E.W. Palmer, this article summarizes the optical design principles of reticle machines, summarizes the experience in electro-optical control and measurement, and related mechanical design issues.
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