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采用金属蒸汽真空弧(MEVVA)离子注入机引出的Si离子进行了聚酯薄膜(PET)改性研究,注入后的聚酯膜表面结构发生了很大的变化.用透射电子显微镜观察了注入聚酯膜的横截面,结果表明,在注入层形成颗粒的沉积.红外吸收测量揭示这些颗粒为SiC和富集的碳颗粒.这些颗粒增强了注入层表面强化效果.用纳米硬度计测量显示,Si离子注入可明显地提高聚酯膜表面硬度和杨氏模量,从而极大地的增强了表面抗磨损特性.最后讨论了Si离子注入聚酯膜改善特性的机理.