【摘 要】
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Perkin—Elmer 公司已生产出一种新型激光干涉仪,它在测量位置变量方面已达3/4微吋(0.00000075时)的精度,因此大大地超过了以前的一微吋的精度。这种5950型仪器是一种手提式
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Perkin—Elmer 公司已生产出一种新型激光干涉仪,它在测量位置变量方面已达3/4微吋(0.00000075时)的精度,因此大大地超过了以前的一微吋的精度。这种5950型仪器是一种手提式的、直接读数的二次长度标准测量仪器。其应用包括:微型电路制作中的临界尺寸的测量与控制;标度尺和刻尺制作中的测量与控制等。
Perkin-Elmer has produced a new type of laser interferometer that has achieved accuracy of 3/4 micro-inch (0.00000075) in measuring positional variables and therefore significantly exceeds the accuracy of the previous micro-inch. This Model 5950 is a handheld, direct reading secondary length standard measuring instrument. Applications include: measurement and control of critical dimensions in the manufacture of microcircuits; measurement and control in the production of scales and rulers.
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