【摘 要】
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本文比较完整地介绍面键合技术。其中包括铜球焊法、可控塌扁面键合法、多层金属凸点面键合法、单金属硬凸点面键合法(单金属金凸点)、单金属铝焊柱衬底等技术,并介绍多层金
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本文比较完整地介绍面键合技术。其中包括铜球焊法、可控塌扁面键合法、多层金属凸点面键合法、单金属硬凸点面键合法(单金属金凸点)、单金属铝焊柱衬底等技术,并介绍多层金属金硬凸点的制造工艺。
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