【摘 要】
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Varian公司的2850型高性能晶体生长炉是一种耐用的高产率的自动控制系统,是为进行无位错晶体的生产而设计的。可以生长直径达5时(125毫米),长40时(1000毫米)的晶体。其标准
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Varian公司的2850型高性能晶体生长炉是一种耐用的高产率的自动控制系统,是为进行无位错晶体的生产而设计的。可以生长直径达5时(125毫米),长40时(1000毫米)的晶体。其标准热区采用直径10吋的坩埚,可容纳15公斤硅。炉室和电源
Varian’s Model 2850 High Performance Crystal Growth Furnace is a robust, high-productivity, automated control system designed for the production of dislocation-free crystals. Crystals can be grown up to 5 in diameter (125 mm) and 40 in. (1000 mm) long. The standard hot zone uses a 10-inch diameter crucible that holds 15 kg of silicon. Furnace chamber and power supply
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