【摘 要】
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一般说来,要提高半导体器件的可靠性,须从以下几方面着手:合理的设计方案、先进的工艺方法,严格的质量管理,适当的工艺筛选,及时的失效分析和校正措施都是很重要的环节。 本
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一般说来,要提高半导体器件的可靠性,须从以下几方面着手:合理的设计方案、先进的工艺方法,严格的质量管理,适当的工艺筛选,及时的失效分析和校正措施都是很重要的环节。 本文重点介绍了器件可靠性设计中的几个重点考虑项目:如结构设计中的几何结构、金
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