【摘 要】
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本文讨论了PETEOS在金属层间介质（MD）上的运用，并就其运用于亚微米CMOS、双层金属工艺中所要求的一些电、机械及结构方面的特性进行了探讨研究。
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本文讨论了PETEOS在金属层间介质（MD）上的运用，并就其运用于亚微米CMOS、双层金属工艺中所要求的一些电、机械及结构方面的特性进行了探讨研究。
This article discusses the use of PETEOS on metal interlayer media (MD) and discusses some of the electrical, mechanical, and structural aspects required for its use in submicron CMOS, two-layer metal processes.
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