【摘 要】
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一种无场氧化物减簿效应的新颖硅局部氧化隔离工艺＝Ａｕｏｖｅｌｌｏｃａｌｏｘｉｄａｔｉｏｎｏｆｓｉｌｉｃｏｎ（ＬＯＣＯＳ）ｔｙｐｅｉｓｏｌａｔｉｏｎｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｆｒｅｅｏｆｔｈｅｆｉｅｌｄｏｘｉｄｅｔｈｉｎｎｉｎｇｅｆｆｅｃｔ，［刊，英］／Ｐａ...
A novel oxide-free local oxide isolation process for field oxide abatement effect = Auovellocaloxidationo
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一种无场氧化物减簿效应的新颖硅局部氧化隔离工艺＝Ａｕｏｖｅｌｌｏｃａｌｏｘｉｄａｔｉｏｎｏｆｓｉｌｉｃｏｎ（ＬＯＣＯＳ）ｔｙｐｅｉｓｏｌａｔｉｏｎｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｆｒｅｅｏｆｔｈｅｆｉｅｌｄｏｘｉｄｅｔｈｉｎｎｉｎｇｅｆｆｅｃｔ，［刊，英］／Ｐａ...
A novel oxide-free local oxide isolation process for field oxide abatement effect = Auovellocaloxidationofsilicon (LOCOS) typeisolationtechnologyfreeofthefieldoxidethinningeffect, [Journal, English] / Pa ...
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