【摘 要】
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本文对高频离子源中气压、磁场强变、吸极电压、高频功率等主要参数对于引出离子流的影响作了一些研究。 在吸极口径为1.8毫米、极隧长度为9.5毫米、磁场强度为150奥斯特等条
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本文对高频离子源中气压、磁场强变、吸极电压、高频功率等主要参数对于引出离子流的影响作了一些研究。 在吸极口径为1.8毫米、极隧长度为9.5毫米、磁场强度为150奥斯特等条件下,获得最大离子流为1.35毫安。
This article made some researches on the influence of main parameters such as air pressure, magnetic field change, voltage and high frequency power on the ion current extraction in HF ion source. A maximum ion current of 1.35 mA was obtained with a 1.8 mm orifice size, a 9.5 mm pole length, and a magnetic field strength of 150 Oerstedt.
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