【摘 要】
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本文介绍了用氧-乙炔火焰法在大气下合成金刚石薄膜的实验结果,初步研究了基板温度对金刚石晶体生长速度、结晶习性的影响,指出了在金刚石(111)及(100)晶面上外延单晶金刚石
【机 构】
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机械电子工业部郑州磨料磨具磨削研究所,机械电子工业部郑州磨料磨具磨削研究所,机械电子工业部郑州磨料磨具磨削研究所 工程师,郑州市华山路 121号(450007)
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本文介绍了用氧-乙炔火焰法在大气下合成金刚石薄膜的实验结果,初步研究了基板温度对金刚石晶体生长速度、结晶习性的影响,指出了在金刚石(111)及(100)晶面上外延单晶金刚石膜的温度范围,还探讨了氧对薄膜的质量均匀性的影响。
In this paper, the experimental results of synthesizing diamond thin films by oxygen-acetylene flame method in air are introduced. The effects of substrate temperature on the growth rate and crystallization behavior of diamond crystals are studied. The epitaxial growth of diamond films on (111) and (100) The temperature range of the single crystal diamond film also explores the effect of oxygen on the quality uniformity of the film.
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