【摘 要】
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设计了一种工作在0 ~8GHz频段的热驱动式RF MEMS开关.开关利用热驱动方式实现横向金属直接接触,因此具有较好的射频性能.开关的结构层由厚的电镀镍和氮化硅组成,由于氮化硅的
【机 构】
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东南大学射频与光电集成电路研究所,东南大学射频与光电集成电路研究所 南京210096,南京210096
【出 处】
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Journal of Southeast University(English Edition)
论文部分内容阅读
设计了一种工作在0 ~8GHz频段的热驱动式RF MEMS开关.开关利用热驱动方式实现横向金属直接接触,因此具有较好的射频性能.开关的结构层由厚的电镀镍和氮化硅组成,由于氮化硅的绝缘作用,实现了射频信号与驱动信号的隔离,有助于进一步提高射频性能.分析了在较小变形量的情况下,突起角度与顶点位移量的关系.电镀的金壁作为接触金属降低了接触电阻.开关通过Metal-MUMPs工艺进行成功流片,测试结果显示,开关在8GHz有小于0.9dB的插入损耗和大于30dB的隔离度.
A thermally actuated RF MEMS switch is designed to work in the frequency range of 0 ~ 8GHz. The switch utilizes the hot-drive mode to realize the lateral metal direct contact, so it has better RF performance. The structural layer of the switch is made of thick nickel-plated and silicon nitride , The isolation of RF signal and driving signal is realized due to the insulating effect of silicon nitride, which helps to further improve the RF performance. The relationship between the protrusion angle and the displacement of apex is analyzed in the case of small deformation. The gold wall reduces the contact resistance as a contact metal.The switch is successfully run through the Metal-MUMPs process and the test results show that the switch has an insertion loss of less than 0.9 dB and an isolation of more than 30 dB at 8 GHz.
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