低能离子束原位研究系统的建立及其应用

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【摘要】

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介绍了一套具有质量分辨能力的低能离子束原位研究系统及其性能，在该系统中，低能离子束能量可调范围为５－２００ｅＶ，束流为１～６μＡ；在１００ｅＶ的能量下，束流密度可达１００μＡ／ｃｍ＾２；离子束能量降至１０ｅＶ时，束流密度为１０－２０μＡ／ｃｍ＾２能量分散

【作者】

：

郭伟民刘焕明

【机构】

：

香港中文大学化学系,香港中文大学物理系

【出处】

：

真空科学与技术

【发表日期】

：

1999年5期

【关键词】

：

低能离子束原位研究系统费米能级磷化铟 Low energy ion beam Insitu experimental system Fermi leve

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介绍了一套具有质量分辨能力的低能离子束原位研究系统及其性能，在该系统中，低能离子束能量可调范围为５－２００ｅＶ，束流为１～６μＡ；在１００ｅＶ的能量下，束流密度可达１００μＡ／ｃｍ＾２；离子束能量降至１０ｅＶ时，束流密度为１０－２０μＡ／ｃｍ＾２能量分散在±０．５ｅＶ。离子的质量和能量分别由四极质谱仪和筒镜能量分析器表征，离子束束流和束流密度分布用两个法拉第杯进行测量，ＷｉｅｎＦｉｌｔｅｒ的质量分

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