【摘 要】
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1.前言真空技术中广泛使用热偶压力计来测量压力,其范围约达10~(-4)Torr。这种潜力已为现代技术对其广泛使用而完全得到证实。它不要求待测气体电离,其工作原理是基于气体压
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1.前言真空技术中广泛使用热偶压力计来测量压力,其范围约达10~(-4)Torr。这种潜力已为现代技术对其广泛使用而完全得到证实。它不要求待测气体电离,其工作原理是基于气体压强对热导率产生影响。一般说来,这类压力计采用了电热丝,电热丝温度依赖于所加的功率和周围环境引起的
1. Introduction Vacuum pressure gauge is widely used in vacuum technology to measure pressure in the range of about 10 ~ (-4) Torr. This potential has been fully demonstrated by the widespread use of modern technology. It does not require ionization of the gas under test, and its working principle is based on the influence of gas pressure on thermal conductivity. In general, this type of pressure gauge uses a heating wire, the heating wire temperature depends on the added power and the surrounding environment caused
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